La produzione di semiconduttori è un processo industriale che richiede una precisione estrema, con affidamento su fasi core ultrapura che attraversano la pulizia dei wafer, la fotolitografia, l'incisione e la planarizzazione meccanica chimica (CMP) . sistemi idrici ad alta purezza per la microelettronica devono soddisfare i criteri rigorosi, compresa la resistenza maggiore che pari o pari a 18 {{4}. Carbon organico (TOC) inferiore o uguale a 1 ppb . qualsiasi ioni o particelle residue può ridurre la resa del chip. Sfruttando la sua tecnologia di membrana ceramica a livello globale e il processo di tutta la membrana, Taihe Environmental Protection ProvidES Soluzioni altamente stabili persistema di osmosi inversa a semiconduttoreS, supportando efficacemente la sicurezza della qualità dell'acqua nelle catene di fornitura di semiconduttori nazionali .
Svolta tecnologica del processo per tutta la membrana
La tecnologia principale di Taihe-"Processo per tutta la membrana per il trattamento del concentrato di osmosi inversa e delle acque reflue circolanti" è stata certificata dall'associazione industriale della membrana cinese come "livello avanzato a livello internazionale" . questa tecnologia impiega una membrana di gravitazione di sabbia + alke Ultrafiltrazione organica ") in un singolo processo, semplificando significativamente i flussi di lavoro mentre migliorano le capacità antivegetanti . membrane ceramiche, fabbricate da nanocompositi, mostrano costi operativi alcali e ad alto flusso. in acque di acqua per semiconfinire, riducono la tolleranza operativa e riducenti e riducono il ridotto e si riducono il ridotto di flussi e il flusso elevato. in acque reflue per semicontro, ridimensionali e riduttori di ridimensionamento e riduzioni di riduzione del campo operativo e ridimensionamento e ridimensionamento di una ridimensionamento e una ridimensionamento e una ridimensionamento del flusso e un flusso alto durezza .
Salvaguardie dell'applicazione nelle fasi chiave di processo
- pulizia del wafer e CMP:Il sistema di osmosi inversa inversa ad ultra-Pure deve rimuovere completamente particelle e ioni metallici per prevenire i difetti della superficie del wafer . di Taihe di Taihe Pretrattamento ceramico Pretrattamento intercetta in modo efficiente le particelle di assiculla per semiconchi, emergenti per semicontro, assicuranti assicudi per semiconchi, assicuranti assicudi per semiconchi di assicucciati per semiconchi, assicuranti assicudi per semiconchi di assicucciati per semiconchi, assicuranti. Funzionamento della membrana RO stabile.
- Rinsing fotoresist:Photolithography is highly sensitive to TOC. Taihe's system synergizes ceramic membranes with ultraviolet sterilization to control TOC within 1 ppb, meeting the "zero-tolerance" requirement for organics in photoresist rinsing .
- riutilizzo delle acque reflue degli incisioni e CMP:For high-turbidity CMP wastewater, its ceramic membrane units demonstrate strong impact resistance, treating high-salinity wastewater with hardness >1.200 mg/L a tassi di recupero del 95%, riducendo drasticamente il consumo di acqua dolce .
Intelligentizzazione e pratiche a bassa carbonio verde
Taihe integra DCS (sistema di controllo distribuito) Sistemi di controllo integrato su larga scala in un sistema di purificazione dell'acqua ultrapura, consentendo il monitoraggio in tempo reale dei parametri di qualità dell'acqua e l'ottimizzazione dell'energia . il suo "processo di religioso per il riutilizzo di recupero" è stato elencato con il mantenimento di emissioni di carbonio in allineate per il recupero del recupero di recupero in allineate con il trasporto di carbonio. bisogni nel settore dei semiconduttori .
Conclusione
Come processi avanzati (e . g ., 5nm, 3nm) intensificare i requisiti di qualità dell'acqua,sistema di osmosi inversa a semiconduttoreS Deve spingere continuamente i confini della purezza . che si basano sulla sua tecnologia di membrana ceramica "avanzata a livello internazionale", Taihe sta accelerando la ricerca e sviluppo in membrane ad alimentazione di alimentazione per la purea di educazione a educazione ad alta purea, che stabiliscono ulteriormente la R&S, stabilendo ulteriori applicazioni per la realizzazione di prodotti idrici, stabilendo ulteriormente le membrazioni di approvvigionamento di alimentazione elettronica, stabilendo la prereazione, stabilendo la prereazione del prodotto, stabile Markmark tecnologici a basso contenuto di carbonio più affidabili per sistemi idrici di alta purezza per l'industria della microelettronica .